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產(chǎn)品描述

產(chǎn)品簡介：本設備主要針對實驗石墨烯生長和制備使用，同時該設備可以用于碳納米管的生長�？芍苽涑龈哔|(zhì)量的透明導電膜,用作手機觸摸屏,平板電腦,智能穿戴,傳感器等領域。

PECVD高溫真空爐加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其較低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，有利于爐內(nèi)溫度場的均勻分布。高溫真空電阻

爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，電力調(diào)制器控制；負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人員的干預，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號，同時系統(tǒng)設置了超溫、欠溫、斷偶啟動緊急信號保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求，關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進口產(chǎn)品，做到高性能、免維護，提高了設備質(zhì)量的可靠性。

zui高溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ50/φ100mm（爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。）
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類型	K型熱電偶
控溫精度	?1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7/10寸工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。
加熱長度	230mm/440mm
恒溫長度	100mm/200mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	單相，220V，50Hz

2、PE射頻電源

功率輸出范圍	0W~150/500W
zui大反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強制風冷

3、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類型	雙卡套不銹鋼接頭
標準量程（N₂)	50sccm，100sccm、500sccm （可根據(jù)用戶要求定制）
準確度	?1.5%F.S
線性	?1%F.S
重復精度	?0.2%F.S
響應時間	氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
zui大壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管	Φ6

4、低真空機組

空氣相對濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V?10% 50~60HZ
功率	1KW
抽氣速率	10m?/h
較限真空	5X10-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X105～1.33X10-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
噪音	50dB
連接方式	采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連