SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀

SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等等）；

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和體積，特征圖形的位置和數(shù)量等等）。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、干涉物鏡

不通倍率的鏡頭，適應(yīng)于從超光滑到粗糙度各種表面類型的樣品。

2、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

外接氣源和加壓裝置直接充氣的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，可有效隔離地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動噪聲。

3、聲波隔振防護(hù)

儀器外殼與內(nèi)部運(yùn)動機(jī)構(gòu)采用了分離式設(shè)計(jì)，有效隔離了聲波振動的傳導(dǎo)。

4、水平調(diào)整裝置

傾斜調(diào)整旋鈕，調(diào)整條紋寬度，提高3D圖像的重建精度。

5、便攜式操縱桿

采用人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，集成了XYZ三軸位移和速度、光源亮度的自動控制，并配有緊急停止按鈕。

6、真空吸附臺

專為半導(dǎo)體晶圓片定制的真空吸附臺，確保樣品在測量過程中不受空氣中微弱氣流擾動的影像。

7、3D重建算法

自動濾除樣品表面噪點(diǎn)，在硬件系統(tǒng)的配合下，測量精度可達(dá)亞納米級別。

 

自研3D顯微測量軟件平臺Xtremevision Pro

Xtremevision Pro

全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺，集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動化測量等四個大的功能模塊，能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機(jī)型，可自主識別機(jī)型種類，二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗(yàn)，重構(gòu)了顯微影像測量功能，可針對微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測量和自動匹配測量。

 

自動化mark點(diǎn)識別坐標(biāo)定位自動化功能

Mark點(diǎn)影像識別自動坐標(biāo)位置校正，多區(qū)域坐標(biāo)點(diǎn)自動定位測量與分析，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動化測量。

 

自動拼接功能

SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測量區(qū)域，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量。

 

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

SuperViewW光學(xué)3D表面輪廓儀可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

 

部分技術(shù)指標(biāo)

型號		W1
光源		白光LED
影像系統(tǒng)		1024×1024
干涉物鏡		標(biāo)配：10× 選配：2.5×;5×;20×;50×;100×
光學(xué)ZOOM		標(biāo)配：0.5× 選配：0.375×;0.75×;1×
物鏡塔臺		標(biāo)配：3孔手動 選配：5孔電動
XY位移平臺	尺寸	320×200㎜
	移動范圍	140×100㎜
	負(fù)載	10kg
	控制方式	電動
Z軸聚焦	行程	100㎜
	控制方式	電動
Z向掃描范圍		10 ㎜
主機(jī)尺寸（長×寬×高）		700×606×920㎜

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

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