國產臺式掃描電鏡CEM3000

中圖儀器CEM3000系列國產臺式掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設備。采用的鎢燈絲電子槍控制相對簡單，操作容易上手，不需要專業(yè)的、長時間的培訓即可掌握其基本操作技能，適合廣大用戶使用，尤其是對于那些沒有深厚電子顯微鏡操作經驗的初學者或非專業(yè)技術人員來說，更容易快速熟悉和使用設備，開展相關的檢測和研究工作。

 

不同于立式電鏡，CEM3000系列國產臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結果。此外，該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術，展現(xiàn)出色的性能。

 

核心優(yōu)勢

1、緊湊靈活，突破空間限制

（1）CEM3000系列國產臺式掃描電鏡臺式設計，體積小巧，輕松擺放在桌面或狹小空間（如手套箱、移動實驗室），節(jié)省實驗室空間。

（2）支持快速移機，一臺設備滿足多場景需求，助力科研效率提升。

2、高性能，納米級分辨率

（1）空間分辨率優(yōu)于4nm（SE），支持高達200,000倍放大，精準捕捉納米材料、微流控芯片等樣品的微觀形貌。

（2）高襯度成像系統(tǒng)，快速掃描也能清晰呈現(xiàn)微弱信號，滿足材料科學、生命科學等領域的需求。

3、抗振防磁，穩(wěn)定無懼挑戰(zhàn)

（1）特殊隔振設計（CEM3000B搭載復合抗振系統(tǒng)），消除環(huán)境振動與電磁干擾，保障高倍成像質量。

（2）適用于工業(yè)車間、車載實驗室等復雜環(huán)境，穩(wěn)定可靠。

4、高效便捷，一鍵智能操作

（1）快速抽放氣技術：低真空模式僅需40秒（CEM3000B），高真空模式快1.5分鐘，大幅縮短等待時間。

（2）自動對焦、消像散、圖像增強功能，一鍵生成高質量圖片，降低操作門檻。

5、靈活拓展，滿足多樣需求

（1）可選配低真空系統(tǒng)（5~100Pa），兼容導電/非導電樣品觀測。

（2）支持二次電子、背散射電子探頭及能譜儀，搭配顆粒統(tǒng)計、孔隙率測量等定制功能，滿足多領域分析需求。

性能特色

1.高易用性快速成像、一鍵成片，無需過多人工調節(jié)。

2.超高分辨率優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE)@20kV。

3.超大景深毫米級別景深，具有高空間分辨率。

4.多探測器可實現(xiàn)四分窗同時掃描成像。

5.抗振性能優(yōu)異。

 

應用范例

 

部分技術指標

型號		CEM3000A（大樣品倉型）
電子槍	燈絲	鎢燈絲
	分辨率	優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE)  @20kV
	加速電壓	1 ~ 20kV
放大倍數(shù)		電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接）
探測器	二次電子	標配
	背散射電子	標配（四象限高分辨探頭）
	能譜儀	選配
自動化軟件		標配：自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強
		選配：顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建
真空系統(tǒng)	真空度	高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配）
	抽真空時間	低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min
樣品臺	自動軸	X，Y，T
	手動軸	R，Z
	行程范圍	X: 50mm
		Y: 50mm
		R: 0°~360°（手動旋轉、電子束旋轉）
		T: -22.5°~ 22.5°
		Z: 45mm
	樣品尺寸	70mm×70mm（水平） 45mm（高度）
倉內相機	導航相機	標配高分辨彩色相機
	側視相機	標配高分辨紅外相機
操作系統(tǒng) 圖片尺寸		Windows10 (64bit)
		640×480
		1280×960
		2560×1920
		5120×3840
		10240×7680

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