產品描述
本設備主要應用于集成電路、分立器件、電力電子器件熔化焊接來進行的生產、擴散、燒結、以及熱處理退火等工藝操作。
主要技術指標：
方式：立式、環(huán)壁加熱，鐘罩升降式，絲杠上下傳送料，自動升降送料，真空室內配有工件支架 可處理硅片尺寸：28英寸 恒溫區(qū)長度：400800mm 工作溫度：4001250°度 控溫精度： ± 1度 有效工作空間： ¢ 350高700mm；（此尺寸可根據工藝要求制作） 真空機組：采用2x8 機械泵+渦輪分子泵（或擴散泵） 真空度：極限真空5104。 工藝氣體：N2H2ArO2(可根據工藝要求選配）； 壓力：0.02&mdash0.2mpa 冷卻水：壓力0.2&mdash0.4MPa 電源電壓：380V；總功率：22KW 功能特點： 全中文windows操作界面，可編輯參數，操作方便。
★可保存多條工藝曲線，每條曲線可設置多步。
★工藝曲線的自動運行控制功能。
★自動運行中可暫停繼續(xù)運行功能。
★工藝中可強制跳到下一個工藝步運行功能。
★智能升降溫斜率制功能。
★PID參數自整定功能。
★系統(tǒng)故障的檢測與報警功能。
★停電后斷點繼續(xù)運行功能。
★工藝氣體的程序控制功能（電磁閥質量流量控制器）。
★可根據用戶的特殊要求增減或開發(fā)相應的功能。
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- 青島育豪微電子設備有限公司
- 經營模式：制造商
- 主營：擴散爐系列,真空爐系列,鏈式隧道爐系列,氫氣爐系列,砷化鎵單晶爐系列,LED專用設備,太陽能光伏擴散爐,磁性材料專用設備
- 地區(qū)：山東 青島
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