青島育豪微電子設(shè)備有限公司

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主營(yíng)：擴(kuò)散爐系列,真空爐系列,鏈?zhǔn)剿淼罓t系列,氫氣爐系列,砷化鎵單晶爐系列,LED專(zhuān)用設(shè)備,太陽(yáng)能光伏擴(kuò)散爐,磁性材料專(zhuān)用設(shè)備

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  • LPCVD化學(xué)相沉積設(shè)備
    LPCVD化學(xué)相沉積設(shè)備

    用途：用于半導(dǎo)體器件工藝中氮化硅、二氧化硅、多晶硅的薄膜制備特點(diǎn)：一次設(shè)定自動(dòng)完成，可另配氣柜。真空系統(tǒng)可選配進(jìn)口機(jī)組主要技術(shù)指標(biāo)：制備3-4吋氮化硅、多晶硅和二氧化硅薄膜；溫度：400~900℃；恒溫區(qū)600mm±0.5℃；真空系統(tǒng)機(jī)械泵+羅茨泵，配有抽氣冷井；控溫器采用進(jìn)口5吋觸

    2016-09-24 電議/臺(tái)
  • 磁性材料專(zhuān)項(xiàng)使用設(shè)備
    磁性材料專(zhuān)項(xiàng)使用設(shè)備

    主要技術(shù)指標(biāo)：◆釤鈷退火每爐15-150公斤，燒結(jié)每爐35公斤◆工作溫度及均勻度：1000℃/1250℃±1.5℃◆真空度：5.0×10-1Pa(退火)/5.0×10-3Pa(燒結(jié))◆滿(mǎn)足工藝要求的均勻升溫、冷卻◆控制方式：觸摸屏、工控機(jī)◆型號(hào)：VTO-250（燒結(jié)）/VTO-4

    2016-09-24 電議/臺(tái)
  • LED外延片退火爐
    LED外延片退火爐

    ◆全中文操作界面，可編輯參數(shù)，操作簡(jiǎn)便◆可保存多條工藝曲線(xiàn)，每條曲線(xiàn)可設(shè)置多步◆工藝曲線(xiàn)的自動(dòng)運(yùn)行控制功能◆自動(dòng)運(yùn)行中可暫停繼續(xù)運(yùn)行功能◆工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能◆智能升降溫斜率控制功能◆PID參數(shù)自整定功能◆可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)

    2016-09-24 電議/臺(tái)
  • 太陽(yáng)能（光伏）擴(kuò)散爐
    太陽(yáng)能（光伏）擴(kuò)散爐

    ◆工作溫度：300~1200℃◆有效口徑根據(jù)用戶(hù)擴(kuò)散片確定，可訂制◆恒溫區(qū)長(zhǎng)度：920mm1350mm（可根據(jù)用戶(hù)要求定制）◆溫區(qū)精度(靜態(tài)閉管測(cè)試)：600℃＜工作溫度＜1200℃：±0.5℃300℃&le工作溫度&le600℃：±1℃◆單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測(cè)試)

    2016-09-24 電議/臺(tái)
  • 程控?cái)U(kuò)散爐
    程控?cái)U(kuò)散爐

    產(chǎn)品說(shuō)明：擴(kuò)散爐主要滿(mǎn)足半導(dǎo)體電力電子器件行業(yè)、大功率集成電路等行業(yè)，對(duì)所加工硅片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金等工藝。主要由擴(kuò)散爐加熱爐體、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、超凈化操作系統(tǒng)等組成。選用工控機(jī)微控方式或者程控方式操作。主要技術(shù)指標(biāo)：★可處理硅片尺寸：2&mdash8英寸★外

    2016-09-24 電議/臺(tái)
  • 立式真空擴(kuò)散爐
    立式真空擴(kuò)散爐

    本設(shè)備主要應(yīng)用于集成電路、分立器件、電力電子器件熔化焊接來(lái)進(jìn)行的生產(chǎn)、擴(kuò)散、燒結(jié)、以及熱處理退火等工藝操作。主要技術(shù)指標(biāo)：方式：立式、環(huán)壁加熱，鐘罩升降式，絲杠上下傳送料，自動(dòng)升降送料，真空室內(nèi)配有工件支架可處理硅片尺寸：28英寸恒溫區(qū)長(zhǎng)度：400800mm工作溫度：

    2016-09-24 電議/臺(tái)
  • LED專(zhuān)項(xiàng)使用擴(kuò)散爐
    LED專(zhuān)項(xiàng)使用擴(kuò)散爐

    特點(diǎn)：★關(guān)鍵件全部采用進(jìn)口件，具有高可靠性�！锞哂锌删幊痰纳�、降溫功能�！锞哂袛嚯妴�(dòng)緊急信號(hào)、超溫啟動(dòng)緊急信號(hào)、較限超溫啟動(dòng)緊急信號(hào)等多種安全保護(hù)功能�！锟纱鎯�(chǔ)九條工藝曲線(xiàn)。每條工藝曲線(xiàn)較多有九步。★曲線(xiàn)間可以任意鏈接、重復(fù)�！锞哂懈呖垢蓴_能力�！锞哂卸喾N工藝

    2016-09-24 電議/臺(tái)
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